8寸藍(lán)膜、磅礴電子、整張8寸藍(lán)膜晶圓

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硅是由石英砂所精練出來(lái)的 8寸藍(lán)膜片晶圓，晶圓便是硅元素加以純化（99.999%），接著是將這些純硅制成硅晶棒，成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過(guò)照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒 整張8寸藍(lán)膜片回收，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

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由熱氧化法生成sio2 緩沖層 8寸藍(lán)膜，用來(lái)減小后續(xù)中si3n4對(duì)晶圓的應(yīng)力氧化技術(shù)：干法氧化si(固)+o2 à sio2(固)和濕法氧化si(固)+2h2o à sio2(固)+2h2。干法氧化通常用來(lái)形成，柵極二氧化硅膜，要求薄，界面能級(jí)和固定電荷密度低的薄膜。干法氧化成膜速度慢于濕法。

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