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    2015-1-22

楊先生
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硅是由石英砂所精練出來(lái)的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%) 整張8寸藍(lán)膜晶圓,接著是將這些純硅制成硅晶棒,成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料,經(jīng)過(guò)照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。


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不同厚度的sio2膜 整張8寸藍(lán)膜片回收,去除后的si表面的-也不同。sio2膜為透明 nazn整張8寸藍(lán)膜,通過(guò)光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm,如果預(yù)告知道是幾次干涉,就能正確估計(jì)。對(duì)其他的透明薄膜,如知道其折射率,也可用公式計(jì)算出(dsio2)/(dox)=(nox)/(nsio2)。


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