充氣柜測漏設(shè)備「多圖」

用-氣作為-質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全-；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇-氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、-在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔�，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反�?yīng)出來，靈敏度高。

2、-的�。ㄏ鄬Ψ肿訛�4），易于穿過漏孔。這樣，-較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、-是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。

4、在-兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與-相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找-峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的-離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、-在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使-信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如小、易通過漏孔）比-還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底-且波動大，以致靈敏度-降低，所以很少采用。

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-質(zhì)譜檢漏常見問題

-質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀的小編就和大家來一起總結(jié)一下！

一、為什么用-氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低

（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環(huán)境沒有污染，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度

（3）-，可以用在食品工業(yè)

（4）在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分

（5）比空氣輕，運(yùn)動速度快

（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔

（7）其它氣體也可以

二、噴-檢漏的注意事項(xiàng)。

（1）被測系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥，無油

（2）如果測量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)

（3）-氣比空氣輕，噴-法檢漏應(yīng)注意方向

（4）盡量不要使用密封脂（油脂會大量吸附-氣）

（5）不要向環(huán)境釋放大量-氣

（6）真實(shí)的漏率信號應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號，相對緩慢下降的信號

三、漏率（leak rate）

在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時(shí)間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國際單位制時(shí)，漏率單位為：pa?m3/s。

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