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-質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的-氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
-質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理
逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高,-質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲-等優(yōu)點(diǎn)。
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-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
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-質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的儀器,今天科儀的小編就和大家來說一下,-質(zhì)譜檢漏儀的使用環(huán)境條件有哪些,希望對您有所幫助!
校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23 ± 5) ℃ ,校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過± 1℃ ,環(huán)境相對濕度不大于80% 。
校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。
環(huán)境溫度較好控制在23℃ 附近,因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃ 。
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