檢漏系統(tǒng)-科儀---真空-sf6真空箱檢漏系統(tǒng)

真空法-質(zhì)譜檢漏 

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用-罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施-氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，-氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入-質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空-罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹-氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位； 真空-罩法采用有一定密閉功能的-罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，檢漏系統(tǒng)，在罩內(nèi)充滿一定濃度的-氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以準(zhǔn)確定位，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)-壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空法的檢測(cè)主要應(yīng)用于真空密封性能要求，sf6充氣柜真空箱檢漏系統(tǒng)，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。

-質(zhì)譜試漏儀工作原理

-質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用-氣作探索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器．其燈絲發(fā)射出來(lái)的電子在電離室內(nèi)來(lái)回的振蕩，六-硫空箱檢漏系統(tǒng)，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入電離室的-氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑

r ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑（cm） b ——磁場(chǎng)強(qiáng)度（t）

m/z ——離子的質(zhì)（量）／（電）荷比（正整數(shù)）

u ——離子加速電壓（v）

由上式可知，當(dāng) r、b 為定值時(shí)，改變加速電壓可使不同的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。