今天科儀的小編和大家分享的是-質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對您有所幫助!
-質(zhì)譜檢漏儀是一種以-氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點,利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器對其示漏氣體-氣有響應信號,而對其他氣體沒有響應,從而檢漏。
-質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術性能指標,通過實驗,總結(jié)通過-質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準的方法。
-質(zhì)譜檢漏儀原理:
-質(zhì)譜檢漏儀是一種以-氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
-質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
-質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標準漏孔,可將標準漏孔拆卸進行校準,如果不能單獨校準標準漏孔,就可考慮直接通過-質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準,本文主要討論這種情況下-漏率的校準方法。
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檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,-檢漏設備,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射-氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),氫氣發(fā)動機-檢漏設備,其反應是相當?shù)撵`敏。
檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴-的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗,兩次噴-的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴-后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴-。
清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對-的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者-,在測試到數(shù)量級為10-9p a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8p a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7pa?m3/s的大漏漏點時,燃料電池冷卻水套真空箱-檢漏設備,清除時間在3分鐘左右。
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