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采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用-罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施-氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，-氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入-質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空-罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹-氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位； 真空-罩法采用有一定密閉功能的-罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái)，在罩內(nèi)充滿一定濃度的-氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。
真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以準(zhǔn)確定位，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。
真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)-壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。
真空法的檢測(cè)主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子，分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同；在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，再設(shè)計(jì)時(shí)只讓-離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上，收集放大器收集-離子流并出入到電流放大器，通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。
-氣是一種無(wú)色、無(wú)味的隋性氣體。相對(duì)分子為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，分子的為3.65×10-27kg，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3，臨界溫度為5.25k，臨界壓力為2.26×105pa，1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214k，熔點(diǎn)為0.9k，三相點(diǎn)溫度為2.186k，三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2pa，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79j/(m·h·k)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233j/(kg·k)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5pa·s，1l液-氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的-氣體積為700l。
規(guī)定的瓶裝-氣按純度高低分別為工業(yè)用-、純-、高純-三種。
1、工業(yè)用-：-含量***99%，汽車高壓油軌真空箱-測(cè)漏系統(tǒng)，露1點(diǎn)≤43℃.
2、純-分三級(jí)：優(yōu)等品-含量***99.995%；一等品-含量***99.993%；合格品-含量***99.99%。
3、高純-分為三級(jí)：優(yōu)等品-含量***99.9996%；一等品-含量***99.9993%；合格品-含量***99.999%。
-氣在-質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高，一般選用工業(yè)用-，汽車碳罐真空箱-測(cè)漏系統(tǒng)，即-含量***99%，露1點(diǎn)≤43℃。
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