-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理及主要組成部分:-質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對(duì)離子源氣體進(jìn)行電離,電離出來的正離子經(jīng)過電場(chǎng)加速-通過縫隙進(jìn)入均勻磁場(chǎng),離子束在磁場(chǎng)力的作用下,旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極,此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后,經(jīng)小電流放大器、微處理器,控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空-罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹-氣,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 真空-罩法采用有一定密閉功能的-罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,在罩內(nèi)充滿一定濃度的-氣,可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。-質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以-為示蹤氣體,對(duì)真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測(cè)量的完整系統(tǒng)。我們知道氣體在電子的轟擊下會(huì)產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場(chǎng)的作用下獲得能量做加速動(dòng)力,而在磁場(chǎng)的作用下將做圓周運(yùn)動(dòng),而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動(dòng)半徑不同。
質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的-氣相互碰撞使其電離成正離子,這些-離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴-法、吸-法是-質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中的兩種方法。-質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,生產(chǎn)鋰電池-設(shè)備廠家,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用-氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。為什么要檢漏?泄漏和密封相對(duì)應(yīng)很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),pvd,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。
為什么要檢漏?泄漏和密封相對(duì)應(yīng)很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),pvd,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。-質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點(diǎn):1.采用便攜式設(shè)計(jì)。2.設(shè)備外型美觀小巧。3.采用液晶觸摸屏設(shè)。4.有通訊接口。5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。-質(zhì)譜檢漏儀配置。1.檢漏儀分子泵。2.機(jī)械泵或者干泵。3.定制檢漏儀電磁閥。4.內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。5.放大器。6.采用質(zhì)譜模塊部件-分子泵,采用*檢漏儀用的分子泵。 美國(guó)ad放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度。 180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì),對(duì)焦準(zhǔn)確,靈敏度高。 檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。 離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,-、靈敏度高。 檢漏狀態(tài)下的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。 具有快速清-功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。 全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示,實(shí)現(xiàn)了智能自動(dòng)化,操作方便、簡(jiǎn)單-。 中英文菜單。
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