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為什么要檢漏?泄漏和密封相對(duì)應(yīng)很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),pvd,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),進(jìn)口檢漏儀檢漏儀,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。-質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點(diǎn):1.采用便攜式設(shè)計(jì)。2.設(shè)備外型美觀小巧。3.采用液晶觸摸屏設(shè)。4.有通訊接口。5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。-質(zhì)譜檢漏儀配置。1.檢漏儀分子泵。2.機(jī)械泵或者干泵。3.定制檢漏儀電磁閥。4.內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。5.放大器。6.采用質(zhì)譜模塊部件-分子泵,采用*檢漏儀用的分子泵。 美國(guó)ad放大器,有效降低了檢漏儀本身的噪音,提高了檢漏儀的靈敏度。 180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì),對(duì)焦準(zhǔn)確,靈敏度高。 檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。 離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,-、靈敏度高。 檢漏狀態(tài)下的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。 具有快速清-功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。 全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示,實(shí)現(xiàn)了智能自動(dòng)化,真空包裝檢漏儀檢漏儀,操作方便、簡(jiǎn)單-。 中英文菜單。
-質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用-氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)-氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。-氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,-系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用-作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)-氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。這就使一束帶電粒子在磁場(chǎng)的作用下按荷質(zhì)比分離,這門(mén)研究使不同的粒子在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。-質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測(cè)技術(shù)中的重要應(yīng)用。 -質(zhì)譜檢漏儀檢漏也是無(wú)損檢測(cè)(x射線、渦流、超聲等)的多種方法中的一種,是壓力容器無(wú)損檢測(cè)的佳形式。廣泛應(yīng)用于航天、航空、、電子零部件、真空設(shè)備、電真空、電力、石化、半導(dǎo)體前道、空調(diào)制冷等新技術(shù)的領(lǐng)域。
真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測(cè),反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜,需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說(shuō)明在檢漏過(guò)程要求-充氣管道接口無(wú)泄漏,或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。 噴-法是,汽車(chē)檢漏儀檢漏儀,方便的檢漏方法。檢漏時(shí),用連接在裝有-氣的氣瓶上的噴向懷疑有漏泄的部位噴-氣,檢漏儀,如果有-氣從漏孔中流入壓力容器裝置,則裝置內(nèi)的-分壓就會(huì)上升,-質(zhì)譜檢漏儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少,超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空-罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹-氣,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 真空-罩法采用有一定密閉功能的-罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái),在罩內(nèi)充滿一定濃度的-氣,可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。
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