選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全-;價格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇-氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、-在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,靈敏度高。
2、-的。ㄏ鄬Ψ肿訛4),易于穿過漏孔。這樣,-較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、-是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應(yīng),不會污染被檢件,使用安全。
4、在-兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與-相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標找-峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的-離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、-在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使-信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如小、易通過漏孔)比-還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底-且波動大,以致靈敏度-降低,所以很少采用。
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-質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測儀器,那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢?今天科儀-的小編就和大家來一起總結(jié)一下!
一、為什么用-氣作為示蹤氣體?其他氣體可以嗎?(1)在空氣中含量低(只有5 ppm),環(huán)境本底低
(2)惰性氣體不易1燃,不易1爆對環(huán)境沒有污染,不與其他物質(zhì)反應(yīng),可以混合到任意濃度
(3)-,可以用在食品工業(yè)
(4)在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
(5)比空氣輕,運動速度快
(6)氣體分子很小,可以穿過微小的泄漏孔
(7)其它氣體也可以
二、噴-檢漏的注意事項。
(1)被測系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔,干燥,無油
(2)如果測量條件發(fā)生變化(溫度),需要重新對檢漏儀做內(nèi)部較準
(3)-氣比空氣輕,噴-法檢漏應(yīng)注意方向
(4)盡量不要使用密封脂(油脂會大量吸附-氣)
(5)不要向環(huán)境釋放大量-氣
(6)真實的漏率信號應(yīng)當是快速上升的信號,相對緩慢下降的信號
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注:采用國際單位制時,漏率單位為:pa?m3/s。
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-質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度p1 優(yōu)于200 pa 時,六-硫空箱測漏系統(tǒng),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,-氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當p1降至20 pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 pa·m3/s。
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