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空調(diào)制冷迅速,節(jié)能- 通常,潔凈室的溫度調(diào)節(jié)都是由中央空調(diào)將空氣冷卻后再送到潔凈室。種方法需要大量風(fēng)管進(jìn)-距離送風(fēng),沿途阻力式損失和溫度損失造成很大的能源損耗。此外,也有將空調(diào)機(jī)裝在-回風(fēng)直管內(nèi),再由風(fēng)機(jī)和風(fēng)管將空氣送到送風(fēng)口的方法,這種方法雖然省去了中央空調(diào),便是仍然需要-的風(fēng)機(jī)和風(fēng)管,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,天津潔凈工程,成本高,占用有限的空間,不便于維修和操作空調(diào)機(jī),風(fēng)機(jī)和風(fēng)管所造成的能源損失也較大。本方案采用冷風(fēng)管直接送風(fēng)的方式,將空調(diào)機(jī)產(chǎn)生的冷風(fēng)直接送到潔凈空氣主流區(qū),冷風(fēng)的行程和,冷風(fēng)量集中,不須-管閥件,節(jié)約了投資,安裝也更簡(jiǎn)單。更重要的是減少了這些管閥件的阻力損失和溫度損失,天津潔凈工程造價(jià),達(dá)到提節(jié)約能源的目的。
操作簡(jiǎn)單,維修方便 沒有-空調(diào)機(jī)房,不須專人操作,由于風(fēng)機(jī)箱及空氣過濾器是根據(jù)需要分組設(shè)置的,所以維修和使用還可分單元進(jìn)行.充分利用現(xiàn)有廠房,挖潛增效 利用現(xiàn)有廠房改造潔凈室,施工周期短,天津天津潔凈工程,造價(jià)底,靈活實(shí)用,是企業(yè)挖潛增效的途徑. 按照這個(gè)方法,我們對(duì)我所-處無菌實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行了改造試驗(yàn)。該實(shí)驗(yàn)室部面積約50㎡,設(shè)有兩個(gè)局部100級(jí)潔凈室,現(xiàn)結(jié)合附圖,以其中的一個(gè)12㎡的潔凈室為例以下介紹.該室潔凈室兩側(cè)設(shè)的長(zhǎng)3m寬0.8m潔凈空氣主流區(qū),其上滿布空氣過濾器,設(shè)置了一臺(tái)制冷量為7500w的柜式空調(diào)機(jī)供整個(gè)實(shí)驗(yàn)室使用,冷風(fēng)管的出口主要設(shè)置在該潔凈室的上方.該主流區(qū)潔凈度為100級(jí),其余區(qū)域?yàn)?0000級(jí),該潔凈室的溫度在5mim內(nèi)可由33℃迅速下降21.4℃,其余房間的溫度也逐漸下降至22℃左右,20mim后各部位溫度達(dá)到平衡.表1為該潔凈室的測(cè)試數(shù)據(jù),各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到-要求.根據(jù)實(shí)際情況,其余房間也設(shè)置了相應(yīng)的空氣過濾器送風(fēng)口和冷風(fēng)管,各房間的潔凈度和溫度都達(dá)到了相應(yīng)的要求,整個(gè)實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)也達(dá)到了預(yù)期的目的.
濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件,相對(duì)濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(duv)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年,在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括: 1、-生長(zhǎng); 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。
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