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通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的pvd鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)cd、pb、ag、al、cu、cr、au、ni等材料。
在高真空下,采用電阻式蒸發(fā)原理,利用大電流在蒸發(fā)舟上加熱所蒸鍍材料,使其在高溫下熔化蒸發(fā),從而在樣品上沉積所需要的薄膜。通過調(diào)節(jié)所加電流的大小,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率。通常適合熔點(diǎn)低于1500oc的金屬薄膜的制備。
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有機(jī)無(wú)機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu),主要由二個(gè)有機(jī)材料生長(zhǎng)室組成,300a蒸發(fā)鍍膜機(jī)銷售,兩個(gè)有機(jī)材料生長(zhǎng)室之間通過閘板閥聯(lián)接,其中一個(gè)生長(zhǎng)室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對(duì)接接口,能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。有機(jī)無(wú)機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀的有機(jī)材料生長(zhǎng)室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測(cè)儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
結(jié)構(gòu)和特點(diǎn):結(jié)構(gòu)可為立臥式雙開門結(jié)構(gòu),300a蒸發(fā)鍍膜機(jī),成膜速率快,色澤鮮亮,膜層不易受污染,可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層,300a蒸發(fā)鍍膜機(jī),不產(chǎn)生廢液、廢水,可避免對(duì)環(huán)境污染,屬設(shè)備。
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