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成品保護(hù)后續(xù)工序施工時(shí),地板面需蓋上干凈的布匹,馬鞍山潔凈室,防止損壞和污染。輔助用房地磚面層:按設(shè)計(jì)要求和有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)選材,粘貼做到不空鼓,平整度、高低差<1mm,磚縫用-的勾縫膠勾縫,做到平整、與地磚粘結(jié)牢固。潔凈手術(shù)室門宜采用設(shè)有自動(dòng)延1時(shí)關(guān)閉裝置的電動(dòng)懸掛式自動(dòng)推拉門,設(shè)計(jì)為彈簧門,應(yīng)以鋁合金制作,要達(dá)到密封和易潔凈的要求。
為了滿足集成電路日益精細(xì)的加工要求,各國(guó)在微污染控制技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)投入了-的人力、物力進(jìn)行系統(tǒng)研究,取得了大量科技成果,潔凈室生產(chǎn)廠家,涌現(xiàn)了一批-產(chǎn)品,諸如超過濾器(過濾效率達(dá)99.9999%)的問世及iso3級(jí)(0.1μm)潔凈室的建立;超純水及超純氣體的應(yīng)用;隧道式潔凈室及微環(huán)境系統(tǒng)潔凈室的出現(xiàn)和使用,-降低了污染。在防微振領(lǐng)域,從廠房結(jié)構(gòu)形式、動(dòng)力設(shè)備布置及隔振措施到精密設(shè)備防微振措施等方面-的建樹,為集成電路生產(chǎn)提供了一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境。
實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)作為潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)的重要環(huán)境,對(duì)于實(shí)驗(yàn)環(huán)境、人員設(shè)備的安全健康運(yùn)行維護(hù)等都起著重要作用。根據(jù)不同-檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的條件和要求,潔凈室工程,檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的通風(fēng)系統(tǒng)常采用驚訝傳感自動(dòng)變頻控制(或plc編程控制)和變風(fēng)量系統(tǒng)(vav)控制方式兩種方式,使實(shí)驗(yàn)室內(nèi)空氣達(dá)到標(biāo)準(zhǔn),為-檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室工作人員提供舒適、順暢、便捷的工作環(huán)境。留樣觀察室:可分開設(shè)置也可分區(qū)設(shè)置,室內(nèi)應(yīng)注意通風(fēng)和防潮設(shè)計(jì),有陰涼貯存要求的還應(yīng)設(shè)置陰涼室。置于二層或二層以上樓層的還應(yīng)準(zhǔn)確計(jì)算樓面荷載,以-安全。
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