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硅微粉的生產(chǎn)方法主要有:
-氫硅法將干燥的硅粉加入合成爐中,與通入的干燥-氣體在280~330℃有氯化亞銅催化劑存在下進行氯化反應,反應氣體經(jīng)旋風分離除去雜質,再用氯化鈣冷凍鹽水將氣態(tài)-氫硅冷凝成液體 硅材料回收,經(jīng)粗餾塔蒸餾和冷凝,除去高沸物和低沸物,再經(jīng)精餾塔蒸餾和冷凝,得到精制-氫硅液體。純度達到7個“9”以上、雜質含量小于1×10-7,硼要求在0.5×10-9以下。提純后的-氫硅送入不銹鋼制的還原爐內(nèi),用超純氫氣作還原劑,在1050~1100℃還原成硅,并以硅芯棒為載體,沉積而得多晶硅成品。
反向阻斷峰值電壓vpr當可控硅加反向電壓,處于反向關斷狀態(tài)時,可以重復加在可控硅兩端的反向峰值電壓。使用時,不能超過手冊給出的這個參數(shù)值。
控制極觸發(fā)電流ig1 、觸發(fā)電壓vgt在規(guī)定的環(huán)境溫度下,陽極-陰極間加有一定電壓時,可控硅從關斷狀態(tài)轉為導通狀態(tài)所需要的小控制極電流和電壓。
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