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硅微粉的生產(chǎn)方法主要有:
-氫硅法將干燥的硅粉加入合成爐中 半導(dǎo)體硅料回收,與通入的干燥-氣體在280~330℃有氯化亞銅催化劑存在下進行氯化反應(yīng),反應(yīng)氣體經(jīng)旋風(fēng)分離除去雜質(zhì),再用氯化鈣冷凍鹽水將氣態(tài)-氫硅冷凝成液體,經(jīng)粗餾塔蒸餾和冷凝 晶體硅料回收,除去高沸物和低沸物,再經(jīng)精餾塔蒸餾和冷凝,得到精制-氫硅液體。純度達到7個“9”以上、雜質(zhì)含量小于1×10-7,硼要求在0.5×10-9以下。提純后的-氫硅送入不銹鋼制的還原爐內(nèi),用超純氫氣作還原劑,在1050~1100℃還原成硅,并以硅芯棒為載體,沉積而得多晶硅成品。
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