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新加坡振鑫控股(蘇州)有限公司硅片拋光工藝
一般來說 硅料回收,硅片需要經(jīng)過兩次拋光 半導體硅料回收,表面才能達到集成電路工藝的要求。-次拋光的目的是去除硅片表面殘留的機械損傷,一般要求從表面除去30um 厚度。第二次拋光的目的是去除-次拋光在硅片表面留下的輕微損傷和云霧狀缺陷,要求從表面除去2~3um。太陽能電池一般用-次拋光即可。
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