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工具/原料
一臺(tái) vgt-15204fst-威固特硅片晶圓超聲波清洗機(jī)
需要清洗的硅片晶圓
水、清洗劑
方法/步驟
1
械手或多機(jī)械手組合,實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。
2
plc全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。
3
自動(dòng)上下料臺(tái),準(zhǔn)確上卸工件。
4
凈化烘干槽,-的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。
5
全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),--工作環(huán)境。
6
具備拋動(dòng)清洗功能,-清洗均勻。
7
全封閉清洗均勻。
8
全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng),--工作環(huán)境。
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