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-法-法是將-通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中,是-裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。因-制備方法不同 頭尾硅料回收,有日本komatsu發(fā)明的-法,其具體流程如圖2所示、美國union carbide發(fā)明的歧化法、美國memc采用的naalh4與sif4反應方法。
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據-,在50~60微米多晶硅襯底上制作的電池效率超過16%。利用機械刻槽、絲網印刷技術在100平方厘米多晶上效率超過17%,無機械刻槽在同樣面積上效率達到16%,采用埋柵結構,機械刻槽在130平方厘米的多晶上電池效率達到15.8%。
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