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-法-法是將-通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中,是-裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。因-制備方法不同,有日本komatsu發(fā)明的-法,其具體流程如圖2所示、美國(guó)union carbide發(fā)明的歧化法、美國(guó)memc采用的naalh4與sif4反應(yīng)方法。
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工業(yè)化發(fā)展來(lái)看,重心已由單晶向多晶方向發(fā)展,主要原因?yàn)椋籟1]可供應(yīng)太陽(yáng)電池的頭尾料愈來(lái)愈少;[2] 對(duì)太陽(yáng)電池來(lái)講,方形基片更合算,通過(guò)澆鑄法和直接凝固法所獲得的多晶硅可直接獲得方形材料;
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