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西門子法是由德國(guó)siemens公司發(fā)明并于1954年申請(qǐng)了-1965年左右實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化。經(jīng)過幾十年的應(yīng)用和展,西門子法不斷完善,先后出現(xiàn)了-代、第二代和第三代,第三代多晶硅生產(chǎn)工藝即改良西門子法,它在第二代的基礎(chǔ)上增加了還原尾氣干法回收系統(tǒng)、sicl4回收氫化工藝,實(shí)現(xiàn)了完全閉環(huán)生產(chǎn),是西門子法生產(chǎn)高純多晶硅技術(shù)的-技術(shù),其具體工藝流程如圖1所示。硅在西門子法多晶硅生產(chǎn)流程內(nèi)部的循環(huán)利用。
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)-:無水-無腐蝕性,但遇水時(shí)有強(qiáng)腐蝕性。能與一些活性金屬粉末發(fā)生反應(yīng),放出氫氣。遇-化物能產(chǎn)生-的--氣體。
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