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西門子法是由德國siemens公司發(fā)明并于1954年申請了-1965年左右實現(xiàn)了工業(yè)化。經(jīng)過幾十年的應用和展,西門子法不斷完善 單晶硅料回收,先后出現(xiàn)了-代、第二代和第三代,第三代多晶硅生產(chǎn)工藝即改良西門子法,它在第二代的基礎(chǔ)上增加了還原尾氣干法回收系統(tǒng)、sicl4回收氫化工藝,實現(xiàn)了完全閉環(huán)生產(chǎn),是西門子法生產(chǎn)高純多晶硅技術(shù)的-技術(shù),其具體工藝流程如圖1所示。硅在西門子法多晶硅生產(chǎn)流程內(nèi)部的循環(huán)利用。
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-法-法是將-通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中 廢硅料回收,是-裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。因-制備方法不同,有日本komatsu發(fā)明的-法,其具體流程如圖2所示、美國union carbide發(fā)明的歧化法、美國memc采用的naalh4與sif4反應方法。
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