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硅是由石英砂所精練出來的，晶圓便是硅元素加以純化（99.999%） 整張8寸藍(lán)膜晶圓，接著是將這些純硅制成硅晶棒，成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

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不同厚度的sio2膜，去除后的si表面的-也不同。sio2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉 8寸藍(lán)膜，就能正確估計。對其他的透明薄膜，如知道其折射率，也可用公式計算出(dsio2)/(dox)=(nox)/(nsio2)。

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