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一般來說,利用濺鍍制程進(jìn)行薄膜披覆有幾項(xiàng)特點(diǎn): (1)金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。 (2)再適當(dāng)?shù)脑O(shè)定條件下可將多元復(fù)雜的靶材制作出同一組成的薄膜。 (3)利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體 鍍膜,可以制作靶材物質(zhì)與氣體分子的混合物或化合物。 (4)靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到-的膜厚。 (5)較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。 (6)濺射粒子幾不受重力影響 鍍膜價(jià)格,靶材與基板位置可自由安排。 (7)基板與膜的附著強(qiáng)度是一般蒸鍍膜的10倍以上,且由于濺射粒子帶有高能量 鍍膜玻璃,在成膜面會(huì)繼續(xù)表面擴(kuò)散而得到硬且致密的薄膜,同時(shí)此高能量使基板只要較低的溫度即可得到結(jié)晶膜。 (8)薄膜形成初期成核密度高,可生產(chǎn)10nm以下的極薄連續(xù)膜。 (9)靶材的- 鍍膜和封釉,可長(zhǎng)時(shí)間自動(dòng)化連續(xù)生產(chǎn)。 (10)靶材可制作成各種形狀,配合機(jī)臺(tái)的特殊設(shè)計(jì)做-的控制及有效率的生產(chǎn)。水鍍的鍍層厚度比真空鍍厚,耐磨性也比真鍍好
從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時(shí)發(fā)生電離。正離子被基片臺(tái)負(fù)電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場(chǎng)對(duì)離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對(duì)基片的濺射清洗作用,使膜層附著強(qiáng)度-提高。
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