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流量計(jì),即mass flow meter(縮寫為mfm), 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表,其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
流量控制器, 即mass flow controller(縮寫為mfc), 不但具有流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,mfc自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),精密氣體流量計(jì)價(jià)格,流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的流量(無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大,精密氣體流量計(jì)多少錢, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,精密氣體流量計(jì),數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
氣體流量單位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(standard liter per minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來(lái)表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325pa (760mm hg); 溫度—0℃ (27-k)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之處。
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