晶圓清洗-北京東方金榮-晶圓清洗公司

兆聲波清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了它的不足。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長(zhǎng)為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，晶圓清洗，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面，使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時(shí)起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。

1、遵守鑄造設(shè)備通用操作規(guī)程。2、工作前還必須遵守：a、檢查管路系統(tǒng)有無(wú)漏氣漏水的情況，如有這種情況，應(yīng)通知維修人員修理。b、檢查清洗液是否足夠，晶圓清洗多少錢，如果不夠，及時(shí)增加清洗液。c、先點(diǎn)動(dòng)試車，然后空運(yùn)轉(zhuǎn)2-3分鐘，檢查傳動(dòng)系統(tǒng)（電動(dòng)機(jī)、聯(lián)軸節(jié)、減速器）和運(yùn)輸帶的運(yùn)動(dòng)是否平穩(wěn)，確認(rèn)一切正常后，方可進(jìn)行生產(chǎn)。d、開啟浮油排除裝置（不帶浮油排除裝置除外）開始浮油排除，因此時(shí)水泵尚開啟，水面平靜，排油，待浮油基本排除后停止除油，排油污多克利用午休時(shí)間進(jìn)行。

貼合式兆聲清洗頭概述

槽式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于其兆聲換能器面積較大，可以大面積輻射兆聲聲場(chǎng)，從而更的進(jìn)行清洗。但缺點(diǎn)是兆聲聲場(chǎng)在水槽中分布不均勻，距離換能器越遠(yuǎn)聲強(qiáng)越弱，同時(shí)聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于可直接將兆聲能量-在清洗物表面，從而可通過(guò)運(yùn)動(dòng)清洗物和噴頭實(shí)現(xiàn)清洗物表面均勻的聲場(chǎng)分布，且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量，晶圓清洗公司，對(duì)清洗液浪費(fèi)較大，并且噴淋式兆聲換能器面積較小，從而聲能輻射面積較小，清洗速度較慢。

貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)并摒棄了二者缺點(diǎn)的-化的兆聲清洗技術(shù)。它可以以相對(duì)大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，具有非常高的傳遞效率和聲場(chǎng)均勻性，同時(shí)非常節(jié)省清洗液。

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