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由于電子的德布羅意波長非常短，透射電子顯微鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高的很多，可以達(dá)到0.1～0.2nm，放大倍數(shù)為幾萬～百萬倍。因此，使用透射電子顯微鏡可以用于觀察樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu)，甚至可以用于觀察僅僅一列原子的結(jié)構(gòu)，比光學(xué)顯微鏡所能夠觀察到的的結(jié)構(gòu)小數(shù)萬倍。tem在中和物理學(xué)和生物學(xué)相關(guān)的許多科學(xué)領(lǐng)域都是重要的分析方法，如研究、-學(xué)、材料科學(xué)、以及納米技術(shù)、半導(dǎo)體研究等等。

掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子種類可分為三種：場發(fā)射電子、鎢絲和六硼化- 。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時對針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限；而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時間長，還能與多種附件搭配實現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中，我們不僅需要對樣品進(jìn)行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析，所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛。

電子束的掃描是根據(jù)放大倍數(shù)和采集像素大小而進(jìn)行了馬賽克的像素化，只要束斑縮小到和單點(diǎn)像素匹配就可以，束斑與束斑之間不會出現(xiàn)太多的重疊而導(dǎo)致分辨率下降。只有束斑與單點(diǎn)像素匹配后，再縮小束斑已經(jīng)沒有意義，不會帶來分辨率的提升，植物鈣離子超微結(jié)構(gòu)技術(shù)服務(wù)，相反會引起信息的缺失。由此我們可以得到新的結(jié)論，雖然束斑越小理論分辨率越高，但是對于實際拍攝來說，像素和束斑越匹配才是效果越好。

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