xrd掠入射(gixrd)檢測半導(dǎo)體xrd檢測——廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所是廣東省科學(xué)院下屬骨干研究院所之一,主要-半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的應(yīng)用技術(shù)研究,-重大技術(shù)應(yīng)用的基礎(chǔ)研究,從事電子信息、半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用基礎(chǔ)性、關(guān)鍵共性技術(shù)研究,以及行業(yè)應(yīng)用技術(shù)開發(fā)。
在布魯克的自帶軟件中有一個軟件叫做topas,能做這方面的工作,但是,真正會用的人可能不是很多。在帕納科的 xpert highscore里也有一個模塊,可以做這個工作。理學(xué)電機(jī)的儀器使用美國的軟件jade。為什么jade里沒有這樣的模塊呢?其實是有的。你看過它的菜單opti里有一個灰色的命令叫做“easy quantitative”(快速定量)的東西嗎?有的人安裝上jade后,一看這個東西是灰色的,總以為自己的軟件來路不正,是不是少了什么。可以說,真的沒少什么。因為本來就沒有這個東西。我們在買jade 5時就期望這個東西在新版本中變成黑的。但是,買了jade 6以后,這個東西還是灰的。但是,也可以說真的是少了點東西。少了定量這一塊。原因就是這一塊需要單獨購買。因為大家都不買,所有大家都沒得用。我不知道為什么大家都不買。我想不是因為大家都象我一樣窮,可能的原因是,軟件公司先有了菜單,后來想做這個程序,可能原先的想法相當(dāng)于前面提到的半定量,帕納科的軟件里就有這個東西。但是,后來沒有做了,xrd掠入射(gixrd)檢測測試,因為技術(shù)進(jìn)步了,形勢改變了,F(xiàn)在干脆做成了一個很復(fù)雜的東西。這個東西也通過全譜擬合的方法來做定量分析。據(jù)說,這個東西的功能很-,但是,要錢買。我沒錢,沒有買,因此也不知道到底怎么樣。據(jù)說國內(nèi)有人買了。不知道用得如何。另外,通過一些非x射線衍射的軟件也能做這些工作,xrd掠入射(gixrd)檢測多少錢,很多前輩在期刊上發(fā)表過一些。大家可以參考。
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有沒有-的辦法?
歷史在前進(jìn),技術(shù)在進(jìn)步。60年代就有人(riteveld)提出用“全譜擬合”的思想。所謂全譜擬合,就是用一個假想的函數(shù)來擬合實測的衍射譜。通過一步一步地迭代,使假想函數(shù)與實測線形的差別達(dá)到可能的小值。
這個過程中,首先要輸入的是樣品中每個物相的晶體結(jié)構(gòu),通常需要精細(xì)的晶體結(jié)構(gòu),包括原子位置等等?紤]的因素也很多,比如晶格畸變、微觀應(yīng)變、原子錯位等等。一步一步地進(jìn)行,總會得到一個終的值。
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我們?yōu)槭裁茨芾醚苌渥V來做物相的含量分析呢?
其原理就是基于物相的含量w與該物相的衍射強(qiáng)度成正比。
可以簡單地寫成w=ci。w是物相的分?jǐn)?shù),i是該物相的衍射強(qiáng)度。c是一個系數(shù),但不是一個常系數(shù)。不過,在一定條件下它是一個常數(shù)。-的是,這個常數(shù)通常不能通過理論計算得出,而是需要通過實驗來測量。每當(dāng)實驗條件改變(包括樣品中的物相種類的改變、任一物相含量的改變、觀察峰的改變、甚至于物相產(chǎn)地改變、所用輻射改變、晶粒尺寸改變……如此等等,不一而足)這個系數(shù)是變化的。
圍繞如何想辦法得到這個系數(shù)c,歷代的-和小師推導(dǎo)出了十幾種具體的測量方法。而這些方法又是在某種環(huán)境下能使用在另一種環(huán)境下不能使用的。每種方法的不同要求等于給實驗方法本身加上了一把鎖,使得人們不能真正好好地、簡便地利用它。
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