平時(shí)真空泵在工作前工作中及工作結(jié)束注意事項(xiàng)基本上跟常規(guī)真空泵維修保養(yǎng)一樣的了。保持關(guān)注真空泵的工作狀態(tài),維修一定要及時(shí)、迅速,這樣真空泵的正常運(yùn)行才能得到-。
進(jìn)口真空泵系列產(chǎn)品,在泵行業(yè)的維修項(xiàng)目中對(duì)于廠家在日常檢查中需要進(jìn)行針對(duì)性的維修類的檢查和維護(hù),主要的日常檢查項(xiàng)目有檢查運(yùn)行的正常情況以及、真空泵背壓值、報(bào)警信息察看、手閥狀態(tài)、機(jī)械結(jié)構(gòu)的正常與否、特氣管路、管路聯(lián)接以及有無漏水,這都是需要我們?cè)谌粘>S護(hù)檢查的時(shí)候進(jìn)行檢查,這也是針對(duì)這款維修泵維修前的準(zhǔn)備事項(xiàng)。
實(shí)踐證明,edwards 半導(dǎo)體真空泵能夠達(dá)到運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,愛發(fā)科真空泵維修價(jià)格,同時(shí)地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的-性和性能。
ih 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 pecvd 和 lpcvd 制程)提供了高-性。
ih80
ih160
ih600
ih1000
ih1800
ih1800htx
em 系列小型油封旋轉(zhuǎn)式葉片電磁真空泵
em 系列泵是結(jié)實(shí)-的機(jī)械油封泵,抽速為 0.7 到 28 m3/hr,具體取決于型號(hào)和級(jí)數(shù)。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊,梅州愛發(fā)科真空泵維修,使用時(shí)非常安靜,愛發(fā)科真空泵維修中心,具備-的潤滑回路,-性高,配有各種附件,可以滿足您的特定應(yīng)用需求。
特性和優(yōu)點(diǎn)
e2m0.7 的噪聲級(jí)非常低,僅為 43db(a)
該泵設(shè)計(jì)合理,可進(jìn)行-的長期運(yùn)行
緊湊的尺寸
低能耗
較低的工作溫度可將設(shè)備上的熱負(fù)荷降到程度
該泵為獨(dú)立式裝置
電機(jī)完全封閉,由電機(jī)冷卻風(fēng)扇進(jìn)行冷卻并由熱過載設(shè)備保護(hù)
通過全高度 o 形圈密封的油品目視鏡可方便地檢查油位和相關(guān)情況
氣鎮(zhèn)閥具有水蒸汽輸送能力
經(jīng)過檢驗(yàn),符合 en61010、csa、c22.2 和 ul61010 標(biāo)準(zhǔn)
真空泵維修:確定-真空度,在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的-真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的-真空度決定了系統(tǒng)的jia工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的-真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的-真空度低50%。
應(yīng)用
目標(biāo)應(yīng)用包括:
pvd
電介質(zhì)刻蝕
導(dǎo)體刻蝕
金屬刻蝕
植入源
客戶也將 igx 用于一系列 清潔和輕負(fù)載應(yīng)用。
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