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真空鍍膜機(jī)日常維護(hù)保養(yǎng)

1、每完成200個鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。

方法：用（naoh）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（al）與naoh發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣，再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽閥內(nèi)的污垢。

2、當(dāng)粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半），需更換新油。

方法：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。

無論監(jiān)控儀精度怎樣，它也只能控制真空室里單點(diǎn)位置的膜厚，一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設(shè)備此位置的膜厚不是均勻的，那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性，但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的，所以幾乎是不可能消除的，但對真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響較小。

parylene是美國union carbide co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料，由的真空氣相沉積工藝制備，h750氣相沉積設(shè)備，能涂敷到各種形狀的表面，號稱“無孔不入”，被業(yè)內(nèi)稱為好的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層。parylene可分為n型、c型、d型、f型、ht型等多種類型

現(xiàn)在，系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低，而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進(jìn)行光學(xué)鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問題。