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光學(xué)顯微鏡以可見光為介質(zhì),電子顯微鏡以電子束為介質(zhì),由于電子束波長遠(yuǎn)較可見光小,故電子顯微鏡分辨率遠(yuǎn)比光學(xué)顯微鏡高。光學(xué)顯微鏡放大倍率高只有約1500倍,掃描式顯微鏡可放大到10000倍以上。
根據(jù)de broglie波動理論,電子的波長僅與加速電壓有關(guān):
λe=h / mv= h / (2qmv)1/2=12.2 / (v)1/2 (?)
在 10 kv 的加速電壓之下,電子的波長僅為0.12?,遠(yuǎn)低于可見光的4000 - 7000?,所以電子顯微鏡分辨率自然比光學(xué)顯微鏡-許多,但是掃描式電子顯微鏡的電子束直徑大多在50-100?之間,電子與原子核的彈性散射 (elastic scattering) 與非彈性散射 (inelastic scattering) 的反應(yīng)體積又會比原有的電子束直徑增大,因此一般穿透式電子顯微鏡的分辨率比掃描式電子顯微鏡高。
能譜中的峰高與樣品中元素的含量相關(guān)。以-- (srf2) 為例。根據(jù)化學(xué)計量比,預(yù)估氟峰應(yīng)該是-峰的兩倍,而實際上,天津臺式電鏡多少錢一臺,-峰是氟峰的兩倍。因此,為了提供的定量結(jié)果,軟件必須考慮以下幾個因素進(jìn)行修正,這個過程被稱為算法修正。
對于大范圍的掃描分析,每個像素的分析時間可能需要長達(dá)一秒鐘,天津臺式電鏡廠家,因此對大范圍內(nèi)所有像素進(jìn)行分析非常耗時。所以在面掃模式下,通常會在準(zhǔn)確性和速度之間尋求平衡。電鏡的軟件可以-重疊的信號被正確地解卷積計算。
利用高亮度的場發(fā)射電子槍來作電子源的陰級以提高束流密度,從而提高亮度。
縮短工作距離,既可以相對增大信號量、提高信噪比,又可以減小像差,也就是把試樣盡量移近物鏡級靴,天津臺式電鏡分辨率,這類似于光學(xué)顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式。物鏡的級靴區(qū)是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小,一般只有毫米級的試樣才能進(jìn)得去,而且試樣的移動范圍很小,操作起來要-小心,天津天津臺式電鏡,否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短,束斑受外界的影響小,像差也小,且能進(jìn)入到該區(qū)域的試樣座也要小,小樣品臺的穩(wěn)定性相對會比較好,所以在該區(qū)域拍攝的照片,其圖像分辨力能得到明顯提高。
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