為了防止半導體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導致性能退化,就必須采用管殼來密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會因為各種原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞,所以在元器件封裝之后,就需要采取某些方法來檢測這些小洞的存在與否。 -氣檢漏就是采用-氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因為-原子的尺寸很小,容易穿過小洞而進入到管殼內(nèi)部,所以這種檢測方法能夠檢測出尺寸很小的小洞(即能夠檢測出漏氣速率約為10?11~10?12cm3/sec的小洞),靈敏度可與性檢漏方法-,但要比性檢漏方法簡便。
-氣檢漏試驗的方法:首先把封裝好的元器件放入充滿-氣的容器中,并加壓,讓-氣通過小洞而進入管殼中;然后取出,并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留-氣;接著采用質(zhì)譜儀來檢測管殼外表所漏出的-氣。
1、抽真空至5pa以下就可以開始檢測。
2、插上檢漏儀電源,閥門-檢漏多少錢,關閉上部手動擋板閥,閥門-檢漏廠家,開啟檢漏儀總電源,此時,“放氣”燈亮起,等待系統(tǒng)運行
3、當”系統(tǒng)正常”及旁邊的兩個燈都顯示為綠色時,觀察預置參數(shù),應為10-15,一般取15,閥門-檢漏,觀察數(shù)值,閥門-檢漏價格,應為10的-8至-9次方時,可以開始檢漏(等待幾分鐘)
4、按檢漏”鍵,緩慢開啟頂部手動擋板閥,注意:檢漏口的壓強不得超過10mpa,否則機器易損壞,
5、 數(shù)值穩(wěn)定后,先記錄下來,這就是. 本底”
6、逐個將-氣充入焊縫,并封堵插入口,將數(shù)值變動記錄下來。全部完成充-后再觀察20分鐘,看數(shù)值有無大的變動。
7、關機時,應先關閉上部手動擋板閥,然后開啟放氣鍵,后關電源。
(1)吸質(zhì)譜檢漏,假定流量為300 sccm, 則檢漏儀的真實本底為 q=pv*d(t)=2.5e-5mbarl/s,但行業(yè)中吸式都標準在常壓情況下能測到e-7,是因為加入了軟件濾波(抑零)等。
(2)真空法,-本底=分子泵抽速(輔助泵有則加上)*腔體內(nèi)-濃度*入口處壓力,有很多外部條件。
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