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半導(dǎo)體芯片退火

半導(dǎo)體芯片在經(jīng)過離子注入以后就需要退火。因為往半導(dǎo)體中注入雜質(zhì)離子時，高能量的入射離子會與半導(dǎo)體晶格上的原子碰撞，使一些晶格原子發(fā)生位移，結(jié)果造成大量的空位，調(diào)質(zhì)，將使得注入?yún)^(qū)中的原子排列混亂或者變成為非晶區(qū)，所以在離子注入以后必須把半導(dǎo)體放在一定的溫度下進(jìn)行退火，以恢復(fù)晶體的結(jié)構(gòu)和消除缺陷。同時，退火還有施主和受主雜質(zhì)的功能，即把有些處于間隙位置的雜質(zhì)原子通過退火而讓它們進(jìn)入替代位置。退火的溫度一般為200~800c，汽配件調(diào)質(zhì)，比熱擴(kuò)散摻雜的溫度要低得多。

重結(jié)晶退火也用于非鐵合金，例如鈦合金于加熱和冷卻時發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為 α相(密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為 β相（體心立方結(jié)構(gòu)），其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。為了得到接衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，模具調(diào)質(zhì)，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，緊固件調(diào)質(zhì)，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

?2?加入合金元素使鋼的表面形成一層穩(wěn)定的、完整的與鋼的基體結(jié)合牢固的純化

膜。從而提高鋼的耐化學(xué)腐蝕能力。如在鋼中加入 cr，si.al等合金元素 ?使鋼的表層形

成致密的cr2o3，sio2，al2o3等氧化膜 ?就可提高鋼的耐蝕性。

?3?加入合金元素使鋼在常溫時能以單相狀態(tài)存在?減少微電池數(shù)目從而提高鋼的

耐蝕性。如加入足夠數(shù)量的cr或cr?ni，使鋼在室溫下獲得單相鐵素體或單相奧氏體。

?4?加入mo、cu等元素?提高鋼抗非氧化性酸腐蝕的能力。

?5?加入ti?nb等元素?消除cr的晶間偏析?從而減輕了晶問腐蝕傾向。

?6?加入mn、n等元素?代替部分ni獲得單相奧氏體組織?同時能-提高鉻不銹

鋼在有機(jī)酸中的耐蝕性。

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