硅片除氣裝置-科創(chuàng)真空

真空除氣儲存柜的簡介

本產(chǎn)品適用于各類化工原料、貴重金屬、金屬粉末等各種固體、粉狀、糊狀、液體，電子產(chǎn)品（半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等）及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品，還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯，以防潮、防氧化變色。經(jīng)過存貯的產(chǎn)品可防止氧化、變色、褐變、霉變、蟲蛀、受潮、可保質(zhì)、保鮮延長產(chǎn)品儲存期限，本品還可用于真空脫泡、除氣等作用，可在真空灌膠消氣泡的工藝過程中應(yīng)用。

真空除氣儲存柜技術(shù)參數(shù)

1. 腔室內(nèi)尺寸：號寬1050X高200X深700MM  號寬1050X高380X深700MM；

2. -真空度：2×10-5PA；

3. 加熱烘烤：200-800℃烘烤除-能，±3℃；

4. 整體結(jié)構(gòu)型式：泵箱一體，三個腔室；

5. 觀察窗：每一個箱室均配一個Φ100觀察窗，材質(zhì)為石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自動保持真空，可手動獨立控制工作；

7. 異常報警功能：具有自動監(jiān)控各部分的運行狀態(tài)功能，異常診斷報警，故障診斷，并停止設(shè)備運行的功能。