設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便,檢測(cè)迅速等特點(diǎn),是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測(cè)量工作原理如下。-質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),用-氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓-離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集-離子流并送入到電流放大器,通過測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。
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泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,電力鑄鋁件真空箱-測(cè)漏設(shè)備,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),電力鑄件-測(cè)漏設(shè)備,液晶注入機(jī),pvd,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,空調(diào)換熱器真空箱-測(cè)漏設(shè)備,后果-,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/p>
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要-行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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1、-氣的輕,易于穿過漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。
2、-離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階-離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求,-測(cè)漏設(shè)備,使質(zhì)譜室中-離子通過的各個(gè)縫隙,從而提高-離子的傳輸率。
3、-在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中-氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時(shí)本底信號(hào)小。
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