nr9 3000py光刻膠公司-賽米萊德公司

光刻膠的參數(shù)介紹

1．對(duì)比度（contrast）

對(duì)比度指光刻膠從-區(qū)到非-區(qū)過(guò)渡的陡度。 對(duì)比度越好，越容易形成側(cè)壁陡直的圖形和較高的寬高比。

2．粘滯性/黏度 （viscosity）

衡量光刻膠流動(dòng)特性的參數(shù)。黏度通�？梢允褂霉饪棠z中聚合物的固體含量來(lái)控制。同一種光刻膠根據(jù)濃度不同可以有不同的黏度，而不同的黏度決定了該膠的不同的涂膠厚度。

3．抗蝕性（anti-etching）

光刻膠必須保持它的粘附性，在后續(xù)的刻蝕工序中保護(hù)襯底表面。耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。  

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   光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)

1．靈敏度（sensitivity）

靈敏度是衡量光刻膠-速度的指標(biāo)。光刻膠的靈敏度越高，所需的-劑量越小。單位：毫焦/平方厘米或mj/cm2。

2．分辨率（resolution）

區(qū)別硅片表-鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸（cd，nr9 3000py光刻膠多少錢(qián)，critical dimension）來(lái)衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小，光刻膠的分辨率越好。

光刻膠的分辨率是一個(gè)綜合指標(biāo)，影響該指標(biāo)的因素通常有如下3個(gè)方面：

(1) -系統(tǒng)的分辨率。

(2) 光刻膠的對(duì)比度、膠厚、相對(duì)分子等。一般薄膠容易得到高分辨率圖形。

(3) 前烘、-、顯影、后烘等工藝都會(huì)影響光刻膠的分辨率。  

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