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2022-2-17
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刻蝕相對(duì)光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒(méi)有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿(mǎn)光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線(xiàn)隔著光刻板對(duì)晶圓進(jìn)行一定時(shí)間的照射。原理就是利用紫外線(xiàn)使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對(duì)晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。
擴(kuò)展資料:
光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡(jiǎn)便性分為三種,智能刻蝕機(jī)深腐刻圖文字,手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)
1.手動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過(guò)手調(diào)旋鈕改變它的x軸,鋼板刻蝕機(jī)深腐刻圖文字,y軸和thita角度來(lái)完成對(duì)準(zhǔn),對(duì)準(zhǔn)精度可想而知不高了;
2.半自動(dòng):指的是對(duì)準(zhǔn)可以通過(guò)電動(dòng)軸根據(jù)ccd的進(jìn)行定位調(diào)諧;
3.自動(dòng): 指的是 從基板的上載,-時(shí)長(zhǎng)和循環(huán)都是通過(guò)程序控制,自動(dòng)光刻機(jī)主要是滿(mǎn)足工廠(chǎng)對(duì)于處理量的需要。
在堿性真空蝕刻機(jī)中,溶液cu2+濃度、ph值、nh4cl濃度、nh3-h2o濃度以及溫度都會(huì)影響到蝕刻效率。掌握這些因素的影響才能有效的控制溶液,承德刻蝕機(jī)深腐刻圖文字,使之保持恒定的佳蝕刻狀態(tài),從而得到滿(mǎn)意的蝕刻。通過(guò)我們多年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),不銹鋼刻蝕機(jī)深腐刻圖文字,得出以下結(jié)論,僅供參考:
cu2+濃度對(duì)蝕刻速度的影響:在這種蝕刻液中,cu2+是氧化劑,所以cu2+的濃度對(duì)蝕刻機(jī)的蝕刻速度的影響占有重要因素。實(shí)際經(jīng)驗(yàn)告訴我們,cu2+濃度在0g/l~82.5g/l時(shí),蝕刻速度很慢;在82.5g/l~135g/l時(shí)蝕刻速度較低,且控制困難;在135g/l~165g/l時(shí),蝕刻速度高且溶液穩(wěn)定;在165g/l~225g/l時(shí),溶液不穩(wěn)定,趨向于產(chǎn)生沉淀。
常所指蝕刻也稱(chēng)光化學(xué)蝕刻,指通過(guò)-制版、顯-,將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
早可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于減輕重量?jī)x器鑲板,銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工;經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,-在半導(dǎo)體制程上,蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。
注意的問(wèn)題:
減少側(cè)蝕和突沿,提高蝕刻系數(shù)
側(cè)蝕產(chǎn)生突沿。通常印制板在蝕刻液中的時(shí)間越長(zhǎng),(或者使用老式的左右搖擺蝕刻機(jī))側(cè)蝕越-。側(cè)蝕-影響印制導(dǎo)線(xiàn)的精度,-側(cè)蝕將使制作精細(xì)導(dǎo)線(xiàn)成為不可能。當(dāng)側(cè)蝕和突沿降低時(shí),蝕刻系數(shù)就升高,高的蝕刻系數(shù)表示有保持細(xì)導(dǎo)線(xiàn)的能力,使蝕刻后的導(dǎo)線(xiàn)接近原圖尺寸。電鍍蝕刻抗蝕劑無(wú)論是錫-鉛合金,錫,錫-鎳合金或鎳,突沿過(guò)度都會(huì)造成導(dǎo)線(xiàn)短路。因?yàn)橥谎厝菀讛嗔严聛?lái),在導(dǎo)線(xiàn)的兩點(diǎn)之間形成電的橋接。
提高板子與板子之間蝕刻速率的一致性
在連續(xù)的板子蝕刻中,蝕刻速率越一致,越能獲得均勻蝕刻的板子。要達(dá)到這一要求,必須-蝕刻液在蝕刻的全過(guò)程始終保持在佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補(bǔ)償,蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對(duì)各種溶液參數(shù)能自動(dòng)控制的工藝和設(shè)備。通過(guò)控制溶銅量,ph值,溶液的濃度,溫度,溶液流量的均勻性(噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動(dòng))等來(lái)實(shí)現(xiàn)。
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