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-質(zhì)譜檢漏儀由外部均勻磁場、擋板和接縫組成的分析器；由阻燃格柵、收集極和高電阻值組成的收集器，靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)的一級(jí)放大。-質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)漏，每個(gè)電磁閥和閥門組件之間的連接部分。密封件用氟橡膠圈或金屬墊片密封，檢漏儀設(shè)備，密封壽命有限，使用5年以上，容易出現(xiàn)密封故障。 -質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是-儀，通過檢測-的含量來確定是否有泄漏。-檢測采用質(zhì)譜儀，是一種只檢測-的特殊質(zhì)譜儀，寧德檢漏儀，可以屏蔽其它品質(zhì)的氣體。
檢漏接口與閥塊的連接部位有泄漏。首先，用灌膠密封。如果密封性能仍不符合要求，需要從制造商那里購買新產(chǎn)品。質(zhì)譜室內(nèi)燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振動(dòng)，與室內(nèi)氣體和泄漏孔進(jìn)入室內(nèi)的-氣相互碰撞，使其電離成為正離子。這些-質(zhì)譜泄漏檢測儀在電阻爐泄漏檢測中較常用檢漏方法。-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理是，不同質(zhì)荷比的離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí)，自動(dòng)檢漏儀，其偏轉(zhuǎn)半徑不同，從而實(shí)現(xiàn)不同類型離子的分離。
-質(zhì)譜泄漏檢測技術(shù)是真空泄漏檢測領(lǐng)域不可缺少的技術(shù)。由于泄漏檢測、操作簡單、儀器反應(yīng)靈敏、精度高、不易受到其他氣體的干擾。-質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離規(guī)、抽氣機(jī)、電子元件等組成。它是由燈絲、離化室、離子組成的離子源。傳統(tǒng)儀器采用反流法放置在主泵前端，檢漏儀報(bào)價(jià)，使檢驗(yàn)部件放置在檢漏儀前。因此，它具有高壓、無液氮、無污染的特點(diǎn)。適用于大泄漏、真空衛(wèi)生差的真空系統(tǒng)，靈敏度可達(dá)10-12微米。
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