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采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的-氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，-氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中-分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余-氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的-氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入-質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。
背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。
背壓法的檢漏主要應用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。
-質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度p1 優(yōu)于200 pa 時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，-氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當p1降至20 pa 時，入口閥2 關閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 pa·m3/s。
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真空箱法-質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)
1．配置與氣路控制
真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。
工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：-氣儲存罐(高壓罐)，新能源汽車鋰電池動力電池包-檢漏系統(tǒng)，-氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，由面板、plc系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充-回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。
2.系統(tǒng)檢測過程
1)、通過v1、v4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，氫燃料儲罐真空箱-檢漏系統(tǒng)，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關閉v1，打開v2
2)、充-系統(tǒng)通過v2對工件進行充-至核定的壓力，穩(wěn)定，關閉v2
3)、關閉v4，打開v3、v5，處在正常工作狀態(tài)待命的-質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關斷v3、v5，打開v2對-氣進行回收。
4)、關閉v2打開v6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內(nèi)的-氣回收，對真空箱和管道巾的-氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的-分流作用，-檢漏系統(tǒng)，不宜過大(不超過41)，新能源汽車鋰電池動力電池包真空箱-檢漏系統(tǒng)，清潔泵也同樣。
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