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(1) 流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于流量計(jì) / 流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。
(2) 測(cè)量控制的自動(dòng)化
流量計(jì) / 流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常， 模擬的mfc/mfm輸入輸出信號(hào)為0~+5v或4~20ma， 數(shù)字式mfc/mfm還配有rs232或rs485數(shù)字串行通訊口， 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接， 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3) 定量控制流量
流量控制器可以控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等-有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10mpa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如hcl）
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將 fscu 嵌入到應(yīng)用系統(tǒng)中，fscu 可通過觸摸屏、plc、pc 軟件等上位機(jī)系統(tǒng)控制-主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng)、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號(hào)或溫度信號(hào)并進(jìn)行轉(zhuǎn)換，流體系統(tǒng)控制單元，從而實(shí)現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現(xiàn)溫壓修正、mfc故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于流量。
需要注意的是，流體系統(tǒng)控制單元廠家， 被全流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種流量單位， 不符合國內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的流量的國際單位（kg/min），流體系統(tǒng)控制單元哪有賣， 但是它符合國際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的semi。
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