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穩(wěn)壓效果好。集中供氣可采用二級(jí)減壓或多級(jí)減壓方式獲得較好的穩(wěn)壓效果。例如,系統(tǒng)二級(jí)減壓后,加上儀器內(nèi)部的調(diào)壓裝置,可以說(shuō)是三級(jí)穩(wěn)壓,氣源在一級(jí)減壓后,主管路上保持較高壓力,便于遠(yuǎn)距離管道輸送,高純供氣系統(tǒng)哪里有,在儀器前端采用二級(jí)低壓減壓閥,將壓力調(diào)整到儀器工作范圍內(nèi),再進(jìn)入儀器內(nèi)部的壓力調(diào)整后,進(jìn)入儀器的氣體能夠-達(dá)到儀器使用要求。
大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)-量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) -規(guī)模集成電路廠(氣體種類(lèi)包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(氣體種類(lèi)包括nh3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類(lèi)包括nh3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類(lèi)包括4、3、nf3)、光纖(氣體種類(lèi)包括sicl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類(lèi)包括hcl)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模-,采用1-的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,高純供氣系統(tǒng),對(duì)穩(wěn)定和不間-應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。
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由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險(xiǎn)性,如氧氣遇油脂著火,氣瓶倒下使閥門(mén)拆斷引起飛瓶,惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運(yùn)及儲(chǔ)存中應(yīng)注意的一些安全事項(xiàng)。
氣體鋼瓶在運(yùn)輸和裝卸過(guò)程中應(yīng)輕裝輕卸,高純供氣系統(tǒng)多少錢(qián),嚴(yán)禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。
使用氣體前應(yīng)按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上,并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時(shí)不要使用同一個(gè)減壓閥。
不應(yīng)在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮?dú)狻?等)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
燒焊時(shí),應(yīng)對(duì)氣體及電氣采取適當(dāng)?shù)谋Wo(hù)措施。不要使用損壞的設(shè)備,如軟管、電纜及焊等。
特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥,并有-通風(fēng),嚴(yán)禁明火和其它熱源,嚴(yán)禁曝曬可燃?xì)馄炕蜓鯕馄扛浇鼑?yán)禁-,氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。
在儲(chǔ)存、運(yùn)輸及使用杜瓦罐時(shí)不能使其臥倒,應(yīng)永遠(yuǎn)使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。
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