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氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有四種類型:吸附泵,吸氣劑泵,吸氣劑離子泵,低溫泵。常用國(guó)產(chǎn)真空泵的漢語拼音代號(hào)及名稱w 往復(fù)真空泵 z 油擴(kuò)散噴射泵(油增壓泵)d 定片真空泵 s 升華泵x 旋片真空泵 lf 復(fù)合式離子泵,h 滑閥真空泵 gl -鋁吸氣劑泵zj 羅茨真空泵(機(jī)械增壓泵) dz 制冷機(jī)低溫泵yz 余擺線真空泵 dg 灌注式低溫泵l 濺射離子泵 if 分子篩吸附泵xd 單級(jí)多旋片式真空泵 sz 水環(huán)泵
正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2bv系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmhg~25mmhg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmhg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmhg下長(zhǎng)期工作。
吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。(1)蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
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