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供氣系統(tǒng)的連接應(yīng)符合 gb 50236－2011<現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范>等標(biāo)準(zhǔn)的要求［11］。管道的連接應(yīng)采用法蘭連接或焊接等方法，氫氣管道不應(yīng)使用絲扣連接; 高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接; 氣體管道與設(shè)備、閥門與管道或管件的連接應(yīng)采用絲扣或法蘭連接; 絲扣接頭中的填料應(yīng)采用聚四氟乙烯膜、一氧化鉛、甘油調(diào)合填料; 對于高純氣體管道與閥件的連接應(yīng)采用高壓雙卡套接頭連接。
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，-規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導(dǎo)體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應(yīng)越來越高，高純供氣系統(tǒng)，對氣體中雜質(zhì)和露1點(diǎn)要求-嚴(yán)格，高純供氣系統(tǒng)價(jià)格，需要達(dá)到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。
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-工作環(huán)境。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)鋼瓶、空壓機(jī)等供氣源的取消減少了占地面積，便于實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和設(shè)施的布置，避免了其與實(shí)驗(yàn)室操作人員在一處造成的混亂和不便。
降低運(yùn)行成本。集中供氣系統(tǒng)可采用儲氣量較大的液態(tài)儲罐供氣，高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家，可-節(jié)省采購成本，減少更換氣瓶、氣罐的頻次，節(jié)省勞動成本，減輕了維護(hù)人員的勞動強(qiáng)度，便于管理、維修和保養(yǎng)。
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