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真空法-質(zhì)譜檢漏:采用真空法檢漏時(shí),需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用-罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施-氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),-氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進(jìn)入-質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。正壓法-質(zhì)譜檢漏:采用正壓法檢漏時(shí),需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)-壓力的-氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),-氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周圍-環(huán)境中,再采用吸的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周圍-環(huán)境中的-氣濃度增量,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。-質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡(jiǎn)便易操作,生產(chǎn)鋰電-檢專機(jī)廠家,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。-質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用-氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
-質(zhì)譜檢漏法是利用-質(zhì)譜檢漏儀的-分壓力測(cè)量原理,實(shí)現(xiàn)被檢件的-泄漏量測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí),示漏氣體-氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出,泄漏出來(lái)的氣體進(jìn)入-質(zhì)譜檢漏儀后,由于-質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力,僅給出氣體中的-氣分壓力信號(hào)值。在獲得-氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上,通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)-泄漏量。很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間,如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),pvd,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果-,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿。這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要-行檢漏,使用過(guò)程中也要定期利用-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏檢查。真空法-質(zhì)譜檢漏:采用真空法檢漏時(shí),需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用-罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施-氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),-氣就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,鋰電池-檢漏設(shè)備,再進(jìn)入-質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。
-質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理,以-為示蹤氣體,對(duì)真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測(cè)量的完整系統(tǒng)。我們知道氣體在電子的轟擊下會(huì)產(chǎn)生帶電粒子,帶電粒子在電場(chǎng)的作用下獲得能量做加速動(dòng)力,而在磁場(chǎng)的作用下將做圓周運(yùn)動(dòng),而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動(dòng)半徑不同。真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測(cè),反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜,需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說(shuō)明在檢漏過(guò)程要求-充氣管道接口無(wú)泄漏,或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。-質(zhì)譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法:在壓力容器中,使用-質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種,鋰電-檢專機(jī),即噴-法(負(fù)壓法),吸法(正壓法),鋰電池生產(chǎn)設(shè)備多少錢一臺(tái),-罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言,噴-法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí),也不敢確切地說(shuō)噴-法的靈敏度就是高。
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