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正壓漏孔的校準(zhǔn)
正壓漏孔校準(zhǔn)裝置一般采用定容法和恒壓法兩種工作原理。在此基礎(chǔ)上又研究了累積比較法、標(biāo)準(zhǔn)氣體法、流量比較法、壓力比較法、質(zhì)譜計法等各種方法，但都以定容法和恒壓法為基礎(chǔ)。1997年美國材料和測試學(xué)會“校準(zhǔn)氣體參考漏孔的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范”。該規(guī)范毛細(xì)管—水柱位移法為恒壓法，氣體累積法為定容法。歐洲標(biāo)準(zhǔn)化1995年(centc138wfg/6n3rev3)也采用類似毛細(xì)管—水柱位移法。瑞士balzers公司在1995年建立了基于恒壓法的正壓漏孔的校準(zhǔn)系統(tǒng)。我國是采用恒壓法測量，測量范圍10-7—10-5pam3/s。我們采用質(zhì)譜比較法校準(zhǔn)，準(zhǔn)確數(shù)據(jù)由510所科委計量站提供。
真空漏孔用于正壓時，該漏孔的標(biāo)定值要改變。正壓檢測漏率范圍10-3—10-8pam3/s是過渡流。過渡流的計算較復(fù)雜，如用真空漏孔替代正壓條件進行換算，工程應(yīng)用上較為不便，因此必須正壓檢漏時用正壓標(biāo)準(zhǔn)漏孔做比較準(zhǔn)。正壓漏孔在使用時，其供氣壓力-氣濃度應(yīng)一致。正壓漏孔的研究-起步均比較晚，但它已在大型燃料貯箱、運載火箭氫氧系統(tǒng)成功應(yīng)用。但是正壓漏孔的制作、校準(zhǔn)、應(yīng)用與其氣流特性均需在實踐中進一步完善發(fā)展。
-質(zhì)譜檢漏儀鍍膜機檢漏
目前市場上常見的金黃色、鈷銅色、黑色等鉆頭、銑、模具等，這些器具都是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。經(jīng)過涂層處理后的硬質(zhì)合金刀片可以延具壽命并且滿足一些特殊的應(yīng)用，刀具上的顏色不同也就說明涂鍍不同的涂層。
鍍膜機檢漏原因：鍍膜機需要在高真空環(huán)境下工作，真空度的好壞直接影響鍍膜的品質(zhì)。有時候鍍膜機的真空度抽不下來或者真空度不好，可能是接頭松動或者有焊縫出現(xiàn)虛焊。傳統(tǒng)的檢漏方法需要鍍膜機停機，充氮氣，再在懷疑有漏的地方涂上肥皂泡，整個過程耗時費力容易誤判，對于細(xì)微的泄漏無法檢測。
鍍膜機檢漏方法：采用真空法檢漏，鍍膜機不需要停機，直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀，在懷疑有漏的地方噴-氣，即可完成檢漏。
-質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法
反應(yīng)時間、清除時間及其測定
反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的-流量使輸儀表訊號上升到大值的(1-e-1)倍(即o. 63)所需要的時間，記為τr。清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到大值后，停止送-，生產(chǎn)鋰電的設(shè)備，其訊號下降到大值的e-1倍(即o.37)所需要的時間，記為τc。
工作真空、-真空及入口處抽速
質(zhì)譜室-真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的-真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
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