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靜電泄放的途徑是多樣的,包括空氣也能被泄放,我們要能及時泄放,不能累計到一定程度再泄放,累計到一定程度后的靜電電壓-10~30kv,這是-的電壓,頭發(fā)都能豎起來。并且靜電放電的特點是頂端放電,成直線集中放電,接地越好的設備被集中放電就麻煩大了,-是在油墨盤的位置,不起火才怪。 隨著微電子工業(yè)制造技術的飛速發(fā)展,集成電路的集成度不斷提高,采用 0.1 5~0.25m m制造工藝的cmos器件被廣泛使用,其耐擊穿電壓下限通常只有50v~100v。有著更高集成度的速、高頻ic器件,采用了特殊的制造工藝,如薄膜技術、淺pn結、gaas材料、微小封裝等,其對esd、電浪涌、機械應力、熱應力等更為敏感,有的vmos器件耐壓只有30v。這就給含有上述靜電敏感器件產品的生產制造過程提出了更嚴格的靜電防護要求。
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