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高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是一種大型精密儀器
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡由三大部分組成:真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng),是一種大型精密儀器,天津雙束掃描電鏡測(cè)試價(jià)格,它是機(jī)械學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)、熱學(xué)、材料學(xué)、真空技術(shù)等多門學(xué)科的綜合應(yīng)用。
真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器,真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空,有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類,機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足真空要求,需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中,真空柱底端即為右圖所示的密封室,用于放置樣品。
之所以要用真空,主要基于以下兩點(diǎn)原因:電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通-中會(huì)迅速氧化而失效,所以除了在使用sem時(shí)需要用真空以外,平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成像的電子更多。熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束,所以在用熱發(fā)射電子的sem上,電磁透鏡*。
掃描電鏡的結(jié)構(gòu)
掃描電鏡是針對(duì)臺(tái)式電鏡設(shè)計(jì)的,本著臺(tái)式電鏡簡(jiǎn)單易用,利用半導(dǎo)體制冷,無(wú)需額外冷卻系統(tǒng),是一款具有處理所有類型材料能力的分析儀器,可以提供成像,配備x射線能譜儀接口,并有x射線幾何設(shè)計(jì),可對(duì)所有樣品進(jìn)行分析,對(duì)于非導(dǎo)體采用電子束襯管技術(shù)也提高了圖像和分析精度。
掃描電鏡-的x射線幾何結(jié)構(gòu)以及標(biāo)配能譜儀和波譜儀,可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品,可移動(dòng)的顯微鏡樣品臺(tái)用于觀察大型樣品,是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、x射線能譜分析系統(tǒng)。
掃描電鏡可實(shí)現(xiàn)更多功能
掃描電鏡可簡(jiǎn)化從樣品觀察、圖像確認(rèn)到生成報(bào)告等一系列操作過(guò)程,天津雙束掃描電鏡測(cè)試,大幅提高了工作效率,還標(biāo)配了報(bào)告生成功能,觀察結(jié)束后可十分輕松地將拍攝的圖像制作成格式的報(bào)告,此外,天津雙束掃描電鏡測(cè)試中心,選配項(xiàng)還可實(shí)現(xiàn)更多功能。
掃描電鏡的低真空系統(tǒng)使得樣品不需任何處理即可快速進(jìn)行觀察,優(yōu)化提供5kv、10kv、15kv三種不同電壓下的觀察模式,每種模式下電流4檔可調(diào),并配備4分割背散射探測(cè)器,可四個(gè)不同方向的圖像信息,對(duì)樣品進(jìn)行多種模式成像。掃描電鏡具有全新的導(dǎo)航功能,同時(shí),電鏡圖片可以報(bào)告形式導(dǎo)出,配備大型樣品倉(cāng),天津雙束掃描電鏡測(cè)試,可容納大樣品直徑80mm,厚度50mm。
掃描電鏡是一臺(tái)、功能-的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì),提供高真空成像功能,可對(duì)各種材料表面作分析。并且具有業(yè)界的x射線分析條件,樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制,標(biāo)準(zhǔn)的率無(wú)油渦輪分子泵滿足快速的樣品更換和無(wú)污染成像分析。
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