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leyss tw 290/20/20- uhv是德國萊寶為質(zhì)譜儀專門設(shè)計的一款分流泵,不同于 leyss tw220/15,leyss tw220/15速為能同時抽取兩個腔體的真空,對應(yīng)的流量分別為220l/s, 150l/s,leyss tw 290/20/20-uhv turbo pump 能同時抽取三個腔體的真空,leyss tw 290/20/20-uhv turbo pu對應(yīng)三個腔體的真空流量分別為290l/min,萊寶分子泵空壓機(jī), 20l/min,萊寶分子泵, 20l/min

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工作原理
渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個帶葉片的渦輪,快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動量傳輸給氣體分子,將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。
渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運動到前級真空口。
在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3torr)的壓強(qiáng)時,氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米),分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞,所以
抽氣過程非常。

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