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半導體真空腔體市場近幾年快速發(fā)展，越來越多的公司也表達了進入芯片領(lǐng)域的興趣.以存儲芯片為例，以前國內(nèi)存儲芯片完全靠進口，今年福建晉華集成電路的內(nèi)存生產(chǎn)線有望投產(chǎn)，另外長江存儲科技公司也在建設(shè)內(nèi)存和閃存芯片生產(chǎn)線.格力、康佳等傳統(tǒng)家電企業(yè)也表示，將進入芯片領(lǐng)域.
據(jù)國際半導體設(shè)備與材料協(xié)會報告顯示，目前正在天津、西安、北京、上海等16個地區(qū)打造25個fab建設(shè)項目，福建晉華集成電路、長江存儲科技公司等企業(yè)技術(shù)水平雖不及韓國，但均已投入芯片量產(chǎn).報告預測，今年半導體設(shè)備市場規(guī)模有望達118億美元，臥式真空腔體加工，實現(xiàn)同比43.9%的增長，并且明年市場規(guī)模有望擴大至173億美元，增長46.6%，成為大市場.而同一時期內(nèi)韓國的半導體設(shè)備市場規(guī)模從179.6億美元減少至163億美元，減幅為9.2%.-韓國成為很大半導體設(shè)備市場.
提供設(shè)備腔的定-務(wù)，臥式真空腔體加工公司，腔體的外形和開口可以根據(jù)用戶要求進行設(shè)計。
表面分析腔有通用腔體，用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進行自定義設(shè)計。
手套箱和焊接箱于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在-中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件，它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的小腔體，臥式真空腔體加工，可在不破壞主腔體真空度的條件下，將樣本、晶片或其他組件從外部-環(huán)境移動到內(nèi)部高真空環(huán)境中。
表面分析腔有通用腔體，用戶也可以在通用腔體的基礎(chǔ)上進行自定義設(shè)計。
真空腔體可以按照真空度進行分類，包括粗或低真空度(< 760， >; 1 torr)，中真空度(< 1， >;10-3 torr)，高真空度(< 10-3， >;10-8 torr)，真空度(< 10-8 torr)，以及非真空的高壓力 (>; 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數(shù)。標準鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。
真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導口，臥式真空腔體加工，加熱器和冷卻方式等。
ferrotec在真空中制造中的解決方案
使用磁流體密封件作為在旋轉(zhuǎn)過程中真空解決方案。磁流體密封件可以隔絕-和污染物。
制備的石英用來制造視口及配件等組件，石英在許多其他加工工藝中也有使用。
真空鍍膜可選ferrotec的pvd電子束蒸發(fā)系統(tǒng)。
如需了解更多真空環(huán)境下的制造信息，請參考真空工業(yè)界的資料。
復雜的真空腔體通常需要定制，即針對應(yīng)用終端進行專門的設(shè)計和制作。某些常見的真空腔體已經(jīng)過預先設(shè)計，如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境，可用于焊接，或用于塑料制品、復合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。
材質(zhì)：不銹鋼、鋁合金等
腔體適用溫度范圍：-190℃~+1500℃(水冷)
密封方式：氟膠o型圈或金屬無氧銅圈
出廠檢測事項：
1、真空漏率檢測1.3*10-10mbar*l/s
2、水冷水壓檢測：8公斤24小時無泄漏檢測.
內(nèi)外表面處理：拉絲拋光處理、噴砂電解處理、酸洗處理、電解拋光處理和鏡面拋光處理等.
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