空調(diào)管路---測(cè)漏設(shè)備----測(cè)漏設(shè)備-科儀---真空

-質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

(1) 漏率校準(zhǔn) 校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成

校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的-質(zhì)譜檢漏儀組成。

示值誤差

通電預(yù)熱，待-質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)完成后，-測(cè)漏設(shè)備，采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)，將一經(jīng)過校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入-質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，運(yùn)行-質(zhì)譜檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的-質(zhì)譜檢漏儀示值，同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測(cè)量三次，計(jì)算-質(zhì)譜檢漏儀示值平均值，從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與-質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后，將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入-質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，得到-質(zhì)譜檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。

如果測(cè)試結(jié)果有較大編差，可以考慮-質(zhì)譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行測(cè)試。

重復(fù)性

測(cè)量重復(fù)性是用實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差表征的，冰箱內(nèi)膽真空箱-測(cè)漏設(shè)備，本校準(zhǔn)方法采用極差法來(lái)表征重復(fù)性。在示值誤差測(cè)量中，每一標(biāo)準(zhǔn)漏孔用-質(zhì)譜檢漏儀重復(fù)測(cè)量三次，可用公式(2)計(jì)算-質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復(fù)性。

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-質(zhì)譜檢漏儀

-質(zhì)譜檢漏儀（helium mass spectrometerleakdetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用-氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)-氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。-氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，-系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用-作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)-氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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