磁控濺射機(jī)多少錢-沈陽鵬程真空技術(shù)-磁控濺射機(jī)

自動磁控濺射系統(tǒng)有哪些特點？

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司生產(chǎn)、銷售磁控濺射產(chǎn)品，磁控濺射機(jī)，我們?yōu)槟�分析該產(chǎn)品的以下信息。

自動磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點：

不銹鋼腔體

晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

帶觀察視窗的腔門易于上下的載片

基于labview軟件的pc計算機(jī)控制

帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制

完全的安全聯(lián)鎖功能

預(yù)真空鎖以及自動晶圓片上/下的載片

磁控濺射介紹

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供，今天我們來分享磁控濺射產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容，磁控濺射機(jī)多少錢，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助！

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點火和濺射很方便。這是因為靶（陰極），等離子體和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體（如陶瓷），則回路斷了。于是人們采用高頻電源，回路中加入很強(qiáng)的電容，這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴，濺射速率很小，同時接地技術(shù)很復(fù)雜，因而難-采用。為解決此問題，發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶，加入氣和反應(yīng)氣體如氮氣或氧氣。當(dāng)金屬靶材撞向零件時由于能量轉(zhuǎn)化，與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。